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[分享]SECS/GEM Stream Function



<圖片來源>http://streetwill.co/

如題：

小編由於最近公司需求要將公司的內容儘速整理完成，會以Blogger的方式，將相關內容趕快放上來，也當小編最近工作的小小心得，若有相關錯誤在跟我告知一下，感謝~

寫在前頭：
一般在工程師在撰寫Steam function會採取一問一答的方式
基本上For example, EAP(Equipment Automation Process)會與EQP(Equipment)詢問

而機台若符合SECS標準則會回傳對應資料，如下方圖片所示





Stream列別
Stream 中文 英文
Stream1 設備狀態 Equipment Status
Steram2 設備控制與診斷 Equipment Control and Diagnostics
Stream3 材料狀態 Material Status
Steram4 材料控制 Material Control
Steram5 例外處理 Excepetion Handling
Steram6 資料收集 Data Collection
Steram7 流程程式管理 Process Program Management
Steram8 控制程式傳輸 Control Program Transfer
Steram9 系統錯誤 System Errors
Steram10 終端機服務 Terminal Services
Stream11 主機檔案服務 Host File Services
Stream12 晶圓定位 Wafer Mapping
Stream13 資料組傳輸 Data Set Transfers
Stream14 物件服務 Object Services
Stream15 配方管理 Recipe Management
Stream16 製程管理 Processing Management
Steram17 子系統控制與診斷 Subsystem Control and Data


常用的Stream Function列表：(這不是全部只有部分目前for EAP常用)
Stream Function Function Detail
 S1F1 Are You There?
 S1F2 On Line Data
 S1F3 Selected Equipment Status Request
 S1F4 Selected Equipment Status Data
 S1F13 Establish Communications Request
 S1F14 Establish Communications Request Acknowledge
 S1F15 Request OFF-LINE
 S1F16 OFF-LINE Acknowledge
 S1F17 Request ON-LINE
 S1F18 ON-LINE Acknowledge
 S2F13 Equipment Constant Request
 S2F14 Equipment Constant Data
 S2F15 New Equipment Constant Send
 S2F16 New Equipment Constant Ack
 S2F17 Date and Time Request
 S2F18 Date and Time Data
 S2F23 Trace Initialize Send
 S2F24 Trace Initialize Acknowledge
 S2F33 Define Report
 S2F34 Define Report Acknowledge
 S2F35 Link Event Report
 S2F36 Link Event Report Acknowledge
 S2F37 Enable/Disable Event Report
 S2F38 Enable/Disable Event Report Acknowledge
 S2F41 Host Command Send
 S2F42 Host Command Acknowledge
 S3F17 Carrier Action Request
 S3F18 Carrier Action Ack
 S5F1 Alarm Report Send
 S5F2 Alarm Report Ack
 S6F5 Multi-block Data Send Inquire
 S6F6 Multi-block Grant
 S6F11 Event Report Send
 S6F12 Event Report Ack
 S7F1 Process Program Load Inquire
 S7F2 Process Program Load Grant
 S7F17 Delete Process Program Send
 S7F18 Delete Process Program Acknowledge
 S7F19 Current Process Program Dir Request
 S7F20 Current Process Program Data
 S7F23 Formatted Process Program Send
 S7F24 Formatted Process Program Acknowledge
 S7F25 Formatted Process Program Request
 S7F26 Formatted Process Program Data
 S10F3 Terminal Display, Single
 S10F4 Terminal Display, Single Acknowledge
 S14F1 Get Attributes
 S14F2 Attribute Data
 S14F9 Create Obj Request
 S14F10 Create Obj Ack
 S14F11 Delete Obj Request
 S14F12 Delete Obj Ack
 S16F5 Process Job Cmd Req
 S16F6 Process Job Cmd Ack
 S16F11 PRJobCreateEnh
 S16F12 PRJobCreateEnh Ack
 S16F17 PRJobDequeue
 S16F18 PRJobDequeue Ack
 S16F19 PRJob List Req
 S16F20 PRJob List Data
 S16F27 Control Job Command
 S16F28 Control Job Command Ack

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